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多線切割是切割大直徑硅單、多晶棒非常有效的方法之一。
多線切割中使用的是一種具有流動(dòng)性的混合研磨劑——砂漿,其作用在切割過程中非常重要。砂漿是被往復(fù)運(yùn)動(dòng)的線帶到切割區(qū),被帶入的砂漿量的多少以及切割速度的高低決定硅片的切割質(zhì)量。增強(qiáng)尼龍?jiān)撉懈钸^程需要使用硬度高、粒度小并且粒徑分布窄的碳化硅顆粒作為切割介質(zhì)。而與碳化硅按比例加入的聚乙二醇(PEG),起到分散劑的作用,會(huì)使碳化硅在切割過程中分布均勻,并且聚乙二醇具備一定的熱容,可以帶走大量在切割過程中產(chǎn)生的摩擦熱量,同時(shí)聚乙二醇的良好水溶性也便于后期硅片的清洗。
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